濺(jian)(jian)射是一種(zhong)先(xian)進的(de)薄(bo)膜(mo)材(cai)料(liao)制(zhi)備技術,它利用離(li)子(zi)(zi)源(yuan)產生(sheng)的(de)離(li)子(zi)(zi),在真空(kong)中加速聚集(ji)成(cheng)高速離(li)子(zi)(zi)流,轟擊(ji)固體(ti)(ti)表(biao)面,離(li)子(zi)(zi)和固體(ti)(ti)表(biao)面的(de)原子(zi)(zi)發生(sheng)動能(neng)交換,使固體(ti)(ti)表(biao)面的(de)原子(zi)(zi)離(li)開靶材(cai)并(bing)沉積(ji)(ji)在基材(cai)表(biao)面,從而形成(cheng)納米或微(wei)米薄(bo)膜(mo)。而被轟擊(ji)的(de)固體(ti)(ti)是用濺(jian)(jian)射法(fa)沉積(ji)(ji)薄(bo)膜(mo)的(de)原材(cai)料(liao),稱(cheng)為濺(jian)(jian)射靶材(cai)。鎢靶材(cai)和鉬靶材(cai)可在各類基材(cai)上形成(cheng)薄(bo)膜(mo),這種(zhong)濺(jian)(jian)射膜(mo)廣泛用作(zuo)電(dian)子(zi)(zi)部件和電(dian)子(zi)(zi)產品(pin),如(ru)目前廣泛應用的(de)TFT-LCD(薄(bo)膜(mo)半(ban)導體(ti)(ti)管-液晶(jing)顯示(shi)器(qi))、等離(li)子(zi)(zi)顯示(shi)屏、無機光發射二極(ji)管顯示(shi)器(qi)、場發射顯示(shi)器(qi)、薄(bo)膜(mo)太陽能(neng)電(dian)池、傳感器(qi)、半(ban)導體(ti)(ti)裝置以及具有可調諧功(gong)函數CMOS(互補金屬氧化物半(ban)導體(ti)(ti))的(de)場效(xiao)應晶(jing)體(ti)(ti)管柵極(ji)等。

　　近年來，作(zuo)為(wei)(wei)LCD(液晶顯(xian)示)、PDP(等(deng)離子顯(xian)示)等(deng)平面顯(xian)示器(qi)(qi)的(de)(de)(de)電(dian)極和(he)配(pei)線(xian)材(cai)料(liao)的(de)(de)(de)鉬(mu)(mu)系合金靶越(yue)來越(yue)受(shou)到人們的(de)(de)(de)關注。在(zai)TFt-LCD中(zhong)(zhong)(zhong)，柵(zha)電(dian)極是一(yi)個關鍵(jian)部件，以前(qian)主(zhu)要是用Cr／A1作(zuo)為(wei)(wei)柵(zha)電(dian)極材(cai)料(liao)，隨著(zhu)(zhu)平面顯(xian)示器(qi)(qi)的(de)(de)(de)大型化和(he)高精度化，對(dui)材(cai)料(liao)的(de)(de)(de)比阻(zu)抗要求越(yue)來越(yue)高，鉬(mu)(mu)的(de)(de)(de)比阻(zu)抗和(he)膜(mo)應力僅為(wei)(wei)鉻的(de)(de)(de)1／2，同時，由于鉻在(zai)蝕刻過程中(zhong)(zhong)(zhong)會產(chan)生(sheng)六(liu)價態Cr，對(dui)環(huan)境和(he)健(jian)康(kang)有害(hai)，因此(ci)現在(zai)越(yue)來越(yue)多的(de)(de)(de)公(gong)司改用Mo／A1作(zuo)為(wei)(wei)柵(zha)電(dian)極材(cai)料(liao)，這樣(yang)對(dui)鉬(mu)(mu)靶材(cai)的(de)(de)(de)需(xu)求也就越(yue)來越(yue)大。在(zai)鉬(mu)(mu)靶材(cai)的(de)(de)(de)應用中(zhong)(zhong)(zhong)，鉬(mu)(mu)合金的(de)(de)(de)研究(jiu)也越(yue)來越(yue)多，為(wei)(wei)進一(yi)步提高純(chun)鉬(mu)(mu)在(zai)耐腐蝕性(xing)(xing)(xing)(變色)和(he)密著(zhu)(zhu)性(xing)(xing)(xing)(膜(mo)的(de)(de)(de)剝離)，在(zai)鉬(mu)(mu)中(zhong)(zhong)(zhong)添加V、Nb、W、Ta則會使比電(dian)阻(zu)、應力及耐蝕性(xing)(xing)(xing)等(deng)各種性(xing)(xing)(xing)能更好(hao)。